三維激光直寫設(shè)備的主要應(yīng)用方向:
生物醫(yī)學(xué)工程:細(xì)胞支架、微流控芯片、組織工程模型--實現(xiàn)仿生微環(huán)境構(gòu)建,支持細(xì)胞定向生長與藥物篩選
微光學(xué)器件:微透鏡陣列、光波導(dǎo)、光子晶體--制造高性能集成光學(xué)元件,用于傳感與通信系統(tǒng)
光子芯片互聯(lián):光子引線鍵合(PWB)結(jié)構(gòu)--解決硅光、鈮酸鋰芯片三維集成中的跨層互連難題
超材料:力學(xué)超材料、負(fù)折射率結(jié)構(gòu)--構(gòu)建具有特殊物理響應(yīng)的亞微米級功能材料
桌面級經(jīng)濟(jì)型三維激光直寫設(shè)備基于多光子聚合原理,具有封閉光路設(shè)計,隔振溫控系統(tǒng),使得小型化、經(jīng)濟(jì)型設(shè)備也具有加工過程中的長時穩(wěn)定性。得益于多光子聚合和高自由度的設(shè)計,給出了一種經(jīng)濟(jì)型納米級3D制造的解決方案,適配多功能的材料,可應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)工程、微光學(xué)器件、超材料等應(yīng)用領(lǐng)域。
應(yīng)用領(lǐng)域:
生物醫(yī)學(xué)工程:用于制造細(xì)胞支架、微流控芯片、組織工程結(jié)構(gòu);
微光學(xué)器件:加工微透鏡陣列、光子晶體、光波導(dǎo)等納米光學(xué)元件;
超材料與力學(xué)超材料:構(gòu)建亞微米級力學(xué)超材料結(jié)構(gòu),實現(xiàn)特殊物理性能;
光子芯片互聯(lián):支持光子引線鍵合(PWB)技術(shù),解決硅光、鈮酸鋰芯片三維集成中的跨層互連挑戰(zhàn)。
加工精度:可達(dá)70納米三維結(jié)構(gòu)加工精度,部分條件下實現(xiàn)50納米級單點加工。
工作原理:采用多光子聚合(Multi-Photon Polymerization, MPP) 技術(shù),通過聚焦飛秒激光在光刻膠內(nèi)實現(xiàn)亞微米級三維結(jié)構(gòu)的真三維直寫。
系統(tǒng)設(shè)計:
封閉光路設(shè)計+獨特隔振溫控系統(tǒng),保障長時間加工穩(wěn)定性;
集成超清顯微成像系統(tǒng)與高精度納米定位平臺,支持實時對焦與精準(zhǔn)定位。